6英寸二維半導(dǎo)體單晶量產(chǎn)核心技術(shù)獲突破
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來源:科技日報 更新時間:2026-02-02 14:22:22 [我要投稿] |
| 30日,記者從東南大學(xué)獲悉,該校物理學(xué)院教授王金蘭團(tuán)隊聯(lián)袂南京大學(xué)教授王欣然團(tuán)隊,基于金屬有機化學(xué)氣相沉積技術(shù),通過氧輔助策略精準(zhǔn)調(diào)控生長動力學(xué),解決了傳統(tǒng)技術(shù)中碳污染、晶疇尺寸小、遷移率低等挑戰(zhàn),成功突破了6英寸過渡金屬硫化物二維半導(dǎo)體單晶量產(chǎn)核 ...[查看原文] |
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